真空ポンプのダイアフラムとはどのような原理でしょうか?(e-16)

真空ポンプのダイアフラムとはどのような原理でしょうか?(e-16)

ロータが回転することにより、コネクティングロッドを通じてダイアフラムに動力を伝え、ダイアフラムが上下運動を繰り返すことによって、吸気口から排気口へ気体を輸送する仕組みです。

それぞれの口に逆止弁が取り付けられており、常に同じ方向に気体を輸送出来ることで、クリーンな排気を実現しています。

(下記参照)